國產DUV光刻機來了 可產8納米及以下晶片

國家工信部近日宣布，研發出首台國產深紫外光光刻機（DUV），可生產8納米及以下晶片，目前正在推廣應用。

工業和信息化部官網9日公布「首台（套）重大技術裝備推廣應用指導目錄（2024年版）」的通知，下發地方要求加強產業、財政、金融、科技等國家支持政策的協同。

工信部稱，重大技術裝備是國之重器，事關綜合國力和國家安全。「中國首台（套）重大技術裝備」是指國內實現重大技術突破、擁有智慧財產權、尚未取得明顯市場業績的裝備產品，包括整機設備、核心系統和關鍵零部件等。

這份目錄顯示，在積體電路生產裝備，其中一項是「氟化氬光刻機」（DUV光刻機），核心技術指標是「晶圓直徑300mm，照明波長248nm，分辨率≦65nm，套刻≦8nm」。這也代表，這台國產DUV可生產8納米及以下晶片。至於國產DUV光刻機的良率則未見提及。

中國若實現國產8納米及以下製程DUV光刻機，未來絕大多數晶片製造，將不用受制於ASML光刻機。不過，截至目前，尚無中國官方與廠商宣布這項消息。